题目:Factors influencing the chemical vapor deposition of ZrC

作者:Wagner 等

贡献:实验确定ZrC CVD(化学气相沉积)中气体混合物成分对ZrC涂层工艺的影响!

简概:作为以甲烷为碳源的一篇经典实验性文章,其数据揭露了相界移动的 宏观因素,但无法从微观层面解释具体机制!